HIT电池表面钝化技术的研究

摘要：

本文采用PECvD技术沉积本征非晶硅薄膜，研究少子寿命随本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度以及硅片清洗工艺的变化规律。结果表明：本征层厚度要适中。随着沉积气压、射频功率和氢稀释度的增加，少子寿命均呈现先增大而后减小的趋势。同时，采用HF/O3清洗技术能使少子寿命得到很大的改善。

关键词： 太阳能电池 电池表面 钝化技术 非晶硅薄膜 清洗技术

作者: 陈肖静 王淑珍 王永谦 张光春 施正荣

作者单位: 尚德太阳能电力有限公司薄膜研发部,江苏 无锡 214028

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 325-328

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）