制作高效电池中的扩散工艺探讨

摘要：

本文从扩散的原理和杂质在硅片内分布出发，利用磷吸杂、表面氧化和表面降浓度处理等方式获得了较好的扩散后的表面浓度和结深。结果显示，经处理后的硅片均获得了比正常硅片更高的少子寿命。磷吸杂后制成的太阳能电池片功率没有提升;但表面氧化和表面降浓度处理后的硅片获得了较好的开压和电流响应，在配合填充的提高后获得了较好的功率提升。这些都时制作高效太阳能电池提供了保证。

关键词： 扩散工艺 表面处理 太阳能电池

作者: 陈琼 潘盛 孙铁囤

作者单位: 常州亿晶光电科技有限公司,江苏 常州 213213

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 368-372

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）