单室沉积pin型全硅三叠层薄膜太阳电池的研究

摘要：

本文在已有的单室VHF-PECVD技术制备pin型单结微晶硅电池的基础上，将产业化低成本单室非晶硅/非晶硅叠层电池升级到单室a-Si：H/a—Si：H/μc-Si：H pin结构的三叠层电池，通过优化隧穿结和底电池，获得了光电转换效率超过9％的单室a-Si/a-Si/μc-Si pin结构的三叠层电池。

关键词： 单室沉积 硅太阳能电池 三叠层电池 转换效率

作者: 郑新霞 张晓丹 杨素素 魏长春 孙建 耿新华 赵颖

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 414-417

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）