RF-PECVD法制备非晶硅薄膜的耗尽模式研究

摘要：

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECvD)法在聚酰亚胺衬底上制备了非晶硅薄膜，主要研究了射频功率对沉积速率、均匀性、薄膜应力的影响。实验结果表明，射频功率40w，气流量H2：siH4=60sccm：5sccm时，非晶硅薄膜的沉积进入了耗尽模式，速率约为12nm/min;同时薄膜的均匀性得到了明显改善。在此基础上获得了光电转换效率为4.54％(5cm×5cm，AM0，25℃)的聚酰亚胺衬底非晶硅太阳电池;但是非晶硅薄膜的应力随功率的增加而逐渐增大，太阳电池的卷曲现象比较明显。

关键词： 聚酰亚胺 太阳能电池 非晶硅薄膜 射频等离子体 化学气相沉积

作者: 唐道远 周丽华 王小顺 周文灿 刘成 叶晓军 钱子勍 张翼翔 陈鸣波

作者单位: 上海空间电源研究所,上海200233 上海太阳能工程技术研究中心有限公司,上海 200241 上海空间电源研究所,上海200233 上海太阳能工程技术研究中心有限公司,上海200241

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 433-435

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）