柔性薄膜太阳电池非晶硅层的激光刻蚀研究

摘要：

采用倍频Nd.YVO4脉冲激光，对具有Ag/ZnO背反层的柔性非晶硅薄膜太阳电池非晶硅层进行激光刻蚀研究。在激光刻蚀非晶硅的实验中，通过改变激光功率、激光重复频率、扫描速度、聚焦位置等参数，优化激光刻蚀工艺，得到线宽60μ，周围无明显尖峰(3D激光扫描显微镜)，满足薄膜太阳电池工艺要求的刻蚀线。

关键词： 薄膜太阳电池 激光刻蚀 非晶硅薄膜

作者: 马宁华 陈亮 叶晓军 刘成 陈鸣波

作者单位: 上海空间电源研究所,上海 200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 499-502

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）