太阳能电池用透明导电AZO薄膜室温生长及其性能研究

摘要：

本文利用直流反应磁控溅射技术分别在玻璃和柔性衬底上制备铝掺杂氧化锌(ZnO：Al，简称AZO)透明导电薄膜，研究了Al含量和氩氧比对薄膜特性的影响。室温条件下，优化参数后可获得透光率超过90％、电阻率低至10-3Ωcm量级的AZO透明导电膜。所制得的AZO薄膜在太阳能电池及柔性器件的应用上具有较大的优势和应用前景。

关键词： 掺铝氧化锌 柔性衬底 太阳能电池 AZO薄膜 室温生长 磁控溅射

作者: 王钰萍 吕建国 别勋 龚丽 叶志镇

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 541-544

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）