纳米晶硅薄膜材料的技术发展

摘要：

纳米晶硅薄膜是硅基薄膜太阳能电池重要的基础材料。制备纳米晶硅薄膜的方法有：射频等离子增强化学气相沉积(PECVD)、热丝化学气相沉积(HwcvD)、电感耦合等离子源沉积(ICP)、螺旋波等离子源沉积(HwP)和表面波等离子体源沉积(swP)等。本文评述了这些新技术的特点，以及将其应用于硅基薄膜电池需解决的技术问题。

关键词： 纳米晶硅薄膜 薄膜太阳能电池 化学气相沉积 电感耦合 等离子源沉积

作者: 吴大维 吴越侠 唐志斌

作者单位: 广西紫星光伏科技有限公司,530028

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 628-632

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）