超声喷雾法制备大面积绒面Sn02：F薄膜及特性的研究

摘要：

详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2：F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系，试验曲线和SEM图的研究结果表明将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高，晶粒尺寸明显增大;温度在470℃左右绒度达到13％。文章同时对超声喷雾热分解工艺制备大面积绒面SnO2：F薄膜做了工艺探索，并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池，其效率达到了6.46％。

关键词： 超声喷雾法 热分解工艺 F薄膜 光学性能 硅薄膜电池

作者: 赵庚申 赵耀 郭天勇 王庆章

作者单位: 南开大学光电子研究所,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 655-659

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）