PET/ITO/ZnO薄膜的制备及其性能研究

摘要：

PET/TCO可用于柔性太阳电池及其他柔性电子器件，在常规的PET/TC0结构上沉积一层体电阻率较高的TCO层，可改善相应的电子器件的性能。本文采用磁控溅射镀膜的方法在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料衬底上制备In2O3：SnO2(ITO)薄膜和高阻过渡层ZnO薄膜。通过四探针、紫外可见分光光度计、扫描电镜(SEM)等对薄膜样品进行了表征，研究不同厚度ZnO薄膜过渡层对ITO/ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响。

关键词： ZnO薄膜 太阳能电池 磁控溅射 微观结构 光电性能

作者: 张兴 张静全 冯良桓 蔡亚平 武莉莉 李卫 黎兵 雷智 曾广根

作者单位: 四川大学材料科学与工程学院,中国 成都 610064

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国光伏大会暨展览会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 713-716

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）