两平晶方法平面绝对检验技术
为了解决大口径光学平面的高精度检测问题，用绝对检验方法对大口径光学平面局部进行检测．采用两平晶互检的方法，得到局部面型的绝对面型分布情况，再通过子孔径拼接技术将有重叠的各个子孔径数据进行拼接，从而得到全口径上的面型分布情况．首先，在中小口径的干涉仪上进行了实验，用一块φ60mm的小口径平晶检测了φ150mm口径的Zygo标准面，得到了其水平方向上的绝对面型分布，将其和全口径三面互检法绝对检验数据进行了对比分析，2种测量方法的最大PV偏差为0.004λ，RMS偏差为0.001λ，结果基本吻合．然后将所述的方法用于检测大口径光学平面(φ600mm)在水平方向上的绝对面型分布．将两平晶互检结合子孔径拼接技术的方法，可以避免传统方法在实施绝对检验时需要反复替换翻转大口径平晶而难以检测的问题，从而实现大口径光学平面的高精度检测．
光学测量 绝对检验 子孔径拼接 两平晶互检
孙文卿 陈磊 徐晨
南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京 210094
国内会议
南京
中文
326-330
2010-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）