探测空间原子氧环境的锇膜电阻传感器技术研究
原子氧密度传感器可以测量原子氧的通量密度和积分通量.锇膜电阻是一种小型的、价格低廉的测量轨道原子氧束流密度的传感器,由于尺寸小、重量轻使其可以用在大部分航天器上,增加了飞行的机会.文章对北京卫星环境研究所采用电镀法及紫外线光刻和金属刻蚀微加工技术制备锇膜电阻的研究情况进行了介绍.
锇膜电阻 原子氧密度传感器 空间探测
刘向鹏 童靖宇 贾铮 姜利祥 李涛
北京卫星环境工程研究所,北京,100094 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001
国内会议
兰州
中文
31-33
2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）