多晶硅中杂质元素B、P的来源分析
太阳能能源产业迅速发展,使之对多晶硅产品的质量要求越来越高,为了达到太阳能级多晶硅产品的要求,应把杂质元素B、P有效的脱除。本文以某厂多晶硅生产为例,分析该工艺路线各个环节脱除B、P的效果;以及采用矿热炉生产工业硅过程中B、P的来源和去向。结果表明工业硅生产过程中消耗的碳素材料是B、P的主要来源;选用低B、P的优质还原剂和经过处理的碳素电极,才能保证工业硅产品,满足后续多晶硅提纯工艺的要求。
多晶硅 碳素材料 杂质元素 太阳能能源
郎永沛 储少军 林俊峰
北京科技大学冶金与生态工程学院 北京 中国 100083 连城桑杏硅业科技有限公司 福建 中国 366200
国内会议
宜兴
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58-61
2010-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)