0.5～100 mm二等量块检定装置的研制
本文介绍了采用双纵模稳频的He．Ne激光辐射谱线的波长作为标准，用计数法研制的接触式量块激光干涉仪的过程。阐述了本量块检定装置对0．5～100 mm二等成组量块和专用量块，以及各等级的特殊尺寸量块的测量。阐述了结构设计，软硬件功能设置，装置重复性、稳定性、准确性以及比较法研制的量块线膨胀系数测量装置。该二等量块检定装置是集光、机、电相结合，融软件于一体的高准确度量块测量仪器。采用柔性测头接触定位的方式，使被测量块无需研合在辅助平板上就可以用激光波长对量块长度进行高准确度直接干涉测量。
光学仪器 激光干涉仪 仪表检定 二等量块
杨玉洁 姜国雁 刘涛
沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司,辽宁 沈阳 110043
国内会议
上海
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384-387
2010-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）