类金刚石膜的性能及应用

摘要：

类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。简要地介绍了DLC膜的结构、制备方法及其在机械、电子、光学、生物医学等领域的应用与存在的问题。

关键词： 类金刚石膜 亚稳态 非晶碳薄膜

作者: 韩小平 殷雪松 高玉玲 董肇勇 曲茵

作者单位: 吉林石化公司研究院,吉林吉林 132021 吉林石化公司电石厂,吉林吉林 132021

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国化工学会2010年石油化工学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 1005-1007

在线出版日期: 2010-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）