西门子法生产多晶硅还原炉内副产物的研究
针对多晶硅厂还原炉内出现的土黄色粉末的成分进行了分析,对其生成原因和对多晶硅生产的影响进行了探讨。分析结果显示,该土黄色粉末的化学成分是单质Si,其形成机理是还原炉炉底温度过高引起的形成无定形Si的副反应。还原炉炉底温度过低,副反应产物较少;炉底温度过高,副反应产物较多。 同时,对尾气组成的分析表明,当炉底温度较低时,尾气中反应物SiHCl3的含量较高,而反应副产物SiCL4的含量较低。控制较低的炉底温度有利于减少副反应的发生,从而达到降低物耗的目的。
西门子法 多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 还原炉
郭晓俊 吴卫兵 刘光军 张昊 杭春燕 杨黎
中国电子工程设计院能源与化工事业部,北京 100101
国内会议
上海
中文
1055-1057
2010-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）