简谈多晶硅副产物四氯化硅的利用途径

摘要：

随着国内多晶硅产业的蓬勃发展，多晶硅主要副产物四氧化硅的环境污染问题日益突出。有效利用四氯化硅、减少环境污染是当前必须要解决的首要问题。探讨了目前多晶硅生产中副产物四氯化硅的利用途径。

关键词： 多晶硅 副产物 四氯化硅 环境污染

作者: 唐玉泉 李光茜 董涛

作者单位: 昆明冶研新材料股份有限公司,云南 昆明 650031 光明化工研究设计院,辽宁 大连 116031

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十四次年会

会议地点: 丹东

会议语种:中文

页码: 34-38

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）