激光干涉制备二维纳米硅阵列及在提高光萃取效率中的应用

摘要：

纳米硅(nc-Si)薄膜作为半导体材料中的重要一员，其制备方法及性能研究已经成为国际上的热点之一。本文利用一种激光干涉诱导结晶的方法，由激光光源与二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)相结合，产生二维分布的干涉激光束。

关键词： 激光干涉 二维纳米硅阵列 纳米硅薄膜 半导体材料 二维移相光栅掩模 光萃取效率

作者: 王旦清 姚尧 陈坤基 黄信凡 徐骏 马忠元

作者单位: 南京大学物理系,固体微结构物理国家重点实验室,南京 210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 20-22

在线出版日期: 2010-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）