用原子力显微镜研究Cu薄膜的表面结构与性能

摘要：

原子力显微镜因分析材料的表面结构与性能方面具有独特的优势，在许多领域受到大家的青睐。本文采用原子力显微镜的轻敲模式，对退火前后的Cu/glass进行了测试，分析了其表面形貌与相位差图包含的一些信息，探讨了薄膜的表面结构与表面性能及成份等之间的关系，并采用了XPS，XRF等其他分析手段进行了验证。

关键词： 原子力显微镜 Cu薄膜 表面结构 表面性能 退火 相位差图

作者: 刘翠秀 徐学东 刘林林 牛文国 刘丽峰

作者单位: 北京工业大学固体微结构与性能研究所,100124 首都示范大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 190-191

在线出版日期: 2010-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）