X射线反射仪角度溯源性研究

摘要：

纳米单层、多层膜的厚度测量的重要方法之一是掠入射X射线反射(XRR)测量，通过全谱反射曲线拟合，可以得到膜层厚度、界/表面粗糙度和膜层材料堆积密度等重要的结构信息。本文主要研究了XRR设备溯源过程中角度的溯源以及不确定度的评定。

关键词： X射线反射仪 纳米多层膜 厚度测量 表面粗糙度 堆积密度

作者: 任玲玲 崔建军

作者单位: 中国计量科学研究院 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 194-196

在线出版日期: 2010-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）