新型共路激光干涉技术及其亚纳米级位移测量系统的研究
研究和开发了一种共路激光干涉测量光路及其亚纳米级位移测量系统。将激光多普勒技术和激光偏振干涉技术相结合，设计了新型激光干涉测长的光路系统，具有两束测量光完全共路的特点，介绍了该系统的光路原理和基于DSP技术的信号处理系统，研究并改进八细分算法，实现被测物体的亚纳米级位移测量。实验证明，测量分辨力达到0．72nm，量程可达0．01mm。该方案有效可行，并且具有很大的改进空间。
激光多普勒 激光偏振干涉 亚纳米级位移 精密测量 八细分算法
王丽华 李源
上海市计量测试技术研究院,上海 201203
国内会议
厦门
中文
205-214
2010-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）