光栅动态精度测量装置的设计与精度分析

摘要：

计量光栅是位移动态测量中的一种常用高精度的测量传感器。本文设计了一种光栅全系统动态测量精度分析装置，对不同运动速度下的系统的动态测量精度进行了分析，并分别从平面直线度、空间直线度等多个方面详细讨论了影响系统测量精度的各项误差源及其影响程度。

关键词： 动态测量 闭式光栅 阿贝误差 误差源 精度分析 平面直线度

作者: 翟文权 李书旗

作者单位: 河海大学电子信息技术实验中心 江苏 常州 213022

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国先进制造技术高层论坛暨第九届制造业自动化与信息化技术研讨会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 358-362

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）