MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究

摘要：

材料选用是微机电系统(MEMS)有效设计中必不可少的环节，随着集成电路(IC)及新型微细加工技术的研制和发展，MEMS材料的选用得到拓广，并不局限于硅基材料。本文针对MEMS旋转机械中微转子结构的应用特点，运用性能指标分析其主要功能和可靠性，根据设计要求选用合适的材料，分析并讨论两种性能指标对微转子结构材料选用的影响，并探讨考虑摩擦、磨损影响时微转子结构的材料选用。

关键词： 旋转机械 微机电系统 转子结构 材料选用

作者: 张文明 孟光

作者单位: 上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室,上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN’2010

会议地点: 贵阳

会议语种:中文

页码: 82-84

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）