Si与SiC微波功率器件的比较

摘要：

对已经研制出的S波段连续波状态下输出功率为10 W的Si与SiC功率器件进行了对比分析,SiC微波功率器件无论是在微波功率增益、功率附加效率还是在器件的体积和重量等方面都表现出了明显优势,SiC器件的功率增益达9 dB以上,比Si器件高3 dB,功率附加效率提高5％以上,体积减小近8倍,重量只为Si功率器件的1/5左右。除此之外,由于SiC材料的优势,SiC微波MOS器件和电力电子器件也展现了诱人的应用前景。

关键词： 碳化硅 功率器件 附加效率 电力电子器件

作者: 潘宏菽 杨霏 霍玉柱 商庆杰 李亚丽 周瑞

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国半导体器件技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 37-39

在线出版日期: 2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）