MEMS惯性器件的新进展及应用

摘要：

阐述了惯性技术的发展历史,总结了MEMS惯性器件的最新发展现状,并列举出当前最高技术水平的MEMS惯性器件及其技术指标。同时,概括了MEMS惯性器件的应用领域,特别是在导航领域的应用现状。最后指出,随着新型MEMS惯性器件的涌现和完善,以MEMS惯性导航为基础的组合导航系统将成为未来导航系统的主要发展方向。

关键词： 微机电系统 惯性器件 惯性测量单元 惯性导航

作者: 徐爱东 杨拥军 卢新艳

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄 050051

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010年全国半导体器件技术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 109-113

在线出版日期: 2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）