会议专题

一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析

基于扭臂式微驱动器模型,根据边缘电容效应不可忽略的特点,推导出计及边缘效应的电容表达式,利用能量法求解扭臂式微执行器的pull-in参数计算公式。对于这种不满足平行板简化计算条件的模型,计及边缘效应计算式具有更好的准确性。

微执行器 扭臂式 静电计 边缘效应

朱文俊 方玉明 石文尚

南京邮电大学电子科学与工程学院,南京 210003

国内会议

2010年全国半导体器件技术研讨会

杭州

中文

114-117

2010-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)