一种扭臂式静电微执行器的pull-in现象分析
基于扭臂式微驱动器模型,根据边缘电容效应不可忽略的特点,推导出计及边缘效应的电容表达式,利用能量法求解扭臂式微执行器的pull-in参数计算公式。对于这种不满足平行板简化计算条件的模型,计及边缘效应计算式具有更好的准确性。
微执行器 扭臂式 静电计 边缘效应
朱文俊 方玉明 石文尚
南京邮电大学电子科学与工程学院,南京 210003
国内会议
杭州
中文
114-117
2010-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
微执行器 扭臂式 静电计 边缘效应
朱文俊 方玉明 石文尚
南京邮电大学电子科学与工程学院,南京 210003
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