集成电路上可伐合金管腿开裂的失效分析

摘要：

2只集成电路的可伐合金管腿发生了开裂，经过对开裂管腿的金相组织分析、断口成份的能谱分析、断口分析，确认集成电路的管腿断裂模式为应力腐蚀开裂。结合集成电路管壳的生产工艺，确认了导致管腿应力腐蚀开裂的氯离子为管腿镀镍前未去除的有机污染物上吸附所致。

关键词： 集成电路 可伐合金 管腿 应力腐蚀开裂 失效分析 金相组织

作者: 刘豫东 龚欣

作者单位: 中国空间技术研究院电子元器件可靠性中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间技术研究院第二届空间材料及其应用技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 133-138

在线出版日期: 2009-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）