化学溶液沉积法制备钕锆共掺杂钛酸铋无铅铁电薄膜

摘要：

采用化学溶液沉积法在Pt／Ti／SiO2／Si基底上制备了钕锆共掺杂钛酸铋Bi3.15Nd0.85ZrxTi3-xO12(BNTZ)无铅铁电薄膜。用X射线衍射仪对BNTZ薄膜的晶体结构进行了分析，用RT Precision Workstation铁电分析仪对BNTZ薄膜的电滞回线和漏电流特性进行了测量分析。详细研究了锆掺杂量X对薄膜性能的影响。结果表明：适量的B位锆掺杂可以明显改善薄膜的铁电性能；当锆掺杂量x为0.1时，BNTZ薄膜具有最好的铁电性能。

关键词： BNTZ铁电薄膜 钕锆共掺杂 铁电性能 化学溶液沉积法 晶体结构

作者: 廖辉 钟向丽 廖敏 周益春

作者单位: 湘潭大学“低维材料及其应用技术教育部重点实验室”,湖南 湘潭 411105

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国空间技术研究院第二届空间材料及其应用技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 231-235

在线出版日期: 2009-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）