C2H2气体流量对非平衡磁控溅射沉积类金刚石碳膜性能影响研究
金刚石碳膜由于其优异的减磨与抗磨损性能，在空间活动部件中显示出了极好的应用潜力，它的应用有望促进活动部件使用寿命的延长、磨损率的降低以及可靠性的提高。本文采用非平衡磁控溅射法在C2H2+Ar气体中制备了含钨类金刚石碳膜(W-C：H)，并研究了不同C2H2气体含量对W-DLC性能的影响。采用拉曼光谱仪测试了薄膜的结构，纳米硬度计测试了薄膜的硬度，纳米划痕仪测试了膜与基体的附着力，球盘摩擦试验机测试了薄膜在真空中的摩擦系数和耐磨寿命。结果显示，在本试验范围内，C2H2气体含量为80sccm时薄膜的综合性能最好。
金刚石碳膜 C2H2气体流量 磁控溅射沉积 耐磨寿命 纳米划痕仪测试
郑军 周晖 万志华
兰州空间技术物理研究所表面工程技术国家级重点实验室 甘肃兰州 730000
国内会议
北京
中文
312-318
2009-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）