电子束蒸发二氧化硅薄膜的制备及其驻极体特性研究

作者: 郝天亮 陈钢进 肖慧明

作者单位: 浙江大学 分析测试中心,浙江 杭州 310028 杭州电子科技大学 材料物理研究所,浙江 杭州 310018

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 183-185

在线出版日期: 2010-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）