磁控溅射功率及基片温度对LiCoO2薄膜的影响

作者: 霍文培 饶强 李晶泽

作者单位: 电子科技大学 微电子与固体电子学院,四川 成都 610054 电子科技大学 微电子与固体电子学院,四川 成都 610054 电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 202-205

在线出版日期: 2010-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）