会议专题

锥面靶溅射中薄膜的沉积速率和均匀性的研究

陶国庆 吕俊青

安徽工业大学 材料科学与工程学院,安徽 马鞍山 243002

国内会议

第七届中国功能材料及其应用学术会议

长沙

中文

108-110

2010-10-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)