作者: 张甲 胡平安 王振龙 李乐
作者单位: 哈尔滨工业大学 微系统与微结构制造教育部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150001
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届中国功能材料及其应用学术会议
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 188-197
在线出版日期: 2010-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）