作者: 刘邦武 刘杰 李超波 夏洋 汪明刚 王文东
作者单位: 中国科学院 微电子器件与集成技术重点实验室，北京 100029
会议类型: 国内会议
会议名称: 第七届中国功能材料及其应用学术会议
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 337-339
在线出版日期: 2010-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）