会议专题

辉光放电质谱法测量多晶硅中痕量杂质

周涛 逯海 王军 任同祥

中国计量科学研究院,北京 100013

国内会议

2010年全国质谱大会暨第三届世界华人质谱研讨会

长春

中文

93-94

2010-07-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)