过程色谱仪在多晶硅工业上的应用

摘要：

多晶硅复杂的生产工艺，难以控制的介质条件，极高的产品质量要求，都需要更为先进的分析技术。西门子过程色谱仪以专门设计的样品处理系统，并行分析，防腐蚀样品阀，高精度脉冲氦离子化检测器等先进的技术，实现精馏、还原、氢化、尾气回收等各个工段的实时监测，有效的提高多晶硅的生产效率和产品质量。

关键词： 过程色谱仪 多晶硅 三氯氢硅 样品处理 检测器 产品质量

作者: 杨飞

作者单位: 西门子(中国)有限公司 上海 200120

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国在线分析仪器应用及发展国际论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 265-269

在线出版日期: 2010-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）