纳米薄膜压力传感器研制

摘要：

多品硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。本文给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。确定弹性膜片结构，并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器芯片。实验表明该传感器工艺简单、高温特性好、灵敏度高。

关键词： 压力传感器 有限元 多晶硅纳米薄膜 灵敏度

作者: 王健 揣荣岩

作者单位: 沈阳化工大学,沈阳 110142 沈阳工业大学信息科学与工程学院,沈阳 110142

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国化工学会化工自动化及仪表专委会2010年学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 143-146

在线出版日期: 2010-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）