氧化锌薄膜的制备及其光电特性

摘要：

本文主要介绍了用真空反应蒸发法制备ZnO薄膜的方法,介绍测量膜厚的方法,了解ZnO薄膜的光电特性,利用XRD衍射对ZnO薄膜进行分析,得出影响薄膜结构的一些工艺参数:基片材料的不同,退火的温度,蒸发的功率等等。

关键词： 氧化锌薄膜 反应蒸发 XRD衍射图 光电导率 真空反应蒸发法

作者: 吴栋梁 张治国

作者单位: 泉州师范学院 物理系,泉州 362000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国高等学校物理实验教学研讨会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 455-458

在线出版日期: 2006-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）