P-Si(111)上溅射生长ZnO薄膜的结构特性

关键词： P-Si(111) 溅射 ZnO薄膜 结构特性

作者: 姚振钰 贺洪波

作者单位: 科学院半导体材料科学实验室(北京) 科学院上海光机所薄膜技术中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 44～46

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）