高压气体终端净化技术在标准气体配制中的应用

摘要：

介绍了气体高压净化技术在标准气体制备中的应用，随着标准气体制备难度加大及市场竞争加剧，该技术将得到广泛的应用，多年的实验结果表明该技术具有广阔的市场空间。

关键词： 气体净化 高压净化器 超纯气体 标准气体配制

作者: 孙福楠 吴江红 冯庆祥

作者单位: 光明化工研究设计院，辽宁 大连 甘井子 甘北路34号 116031

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体信息网第十一次全网大会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）