我国超纯氢中杂质分析概述
介绍了我国超纯氢检测技术及现状。其中氧(氩)和氮含量的测定一般选用变温浓缩进样的热导检测器(TCD)气相色谱法、氦离子化检测器(HID)气相色谱法和近期选用的放电型气相色谱法。而根据纯氢、高纯氢和超纯氢国家标准规定，采用直接进样或变温浓缩进样技术的气相色谱法测定超纯氢中CO，CO2,CH4含量，HID气相色谱、变温浓缩TCD气相色谱和配置有甲烷转化器的火焰离子化检测器(HID)气相色谱都可用来进行测定，但规定以变温浓缩TCD气相色谱为仲裁方法。纯氢、高纯氢和超纯氢采用国家标准规定的露点法测定水含量，同时亦允许采用其它等效的方法测定，但露点法为仲裁方法。
超纯氢 痕量气体 杂质分析 热导检测器 气相色谱法
蔡体杰 刘炜炜 刘友良
上海淞化气体化工有限公司和上海浦江特种气体有限公司，上海 201100 上海浦江特种气体有限公司，上海200431 上海淞化气体化工有限公司，上海 200443
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宁波
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23-26
2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）