超高纯氯气的大规模产业化生产

摘要：

超纯氯是半导体、光纤生产的重要原材料，近年来我国的半导体、光纤工业已从研究向产业化生产发展，作为重要电子气体的超纯氯将发挥重要的作用。为确保产品的质量稳定、降低成本，对该产品进行产业化生产十分必要。

关键词： 低温精馏 超高纯氯气 产业化生产 电子气体

作者: 孙福楠 吴江红 冯庆祥

作者单位: 光明化工研究设计院，辽宁 大连 甘井子 甘北路34号 116031

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体信息网第十一次全网大会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 39-40

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）