发展新一代亚50纳米集成电路制造技术为实现微电子强国奠定基础

摘要：

本文分析了亚50纳米集成电路技术的发展趋势、存在的科学问题，介绍承担的了国家973项目“系统芯片中新器件新工艺基础研究”取得的部分研究成果，提出了只有针对亚50纳米集成电路中存在的基础科学问题进行系统深入的研究，才可能在下一代亚50纳米尺度的集成电路领域掌握系列专利技术和拥有自主的知识产权，实现后来居上。

关键词： 集成电路 系统芯片 纳米尺度

作者: 张兴 刘晓彦 黄如 丁伟

作者单位: 北京大学微电子学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届北京学术交流月集成电路设计及其应用国际研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 60-64

在线出版日期: 2006-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）