高精度长身管内径测试方法研究
本文通过对长身管内径测量问题的提出,介绍了PSD传感器的结构、原理和特点,提出了一种新的高精度长身管内径测试方法.该方法采用S1880型二维PSD传感器作为传感器件,利用激光光束在PSD敏感面上的位置关系变化,在系统测试软件的支持下,可以准确地测量长身管任意截面内径尺寸的变化,并实现了数据快速实时处理和输出.
PSD传感器 内径测量 长身管 光电技术 半导体位置敏感探测器
崔占平 吕爱民 段俊斌 邵崇 王子梁
北京安外北苑893602队部29分队(北京)
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427-431
2000-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)