半导体刻蚀酸中阴离子型氟化物表面活性剂的测定

摘要：

本文建立了刻蚀酸（HF与NH4F的体积比为1：6）中阴离子型氟化物表面活性剂(FC-93)的方法。样品通过IonPac NG 1柱后，表面活性剂与HF基体分离。IonPac NG 1柱是一种聚合物反相柱，能够定量的保留表面活性剂，但对无机阴离子却没有保留。然后将浓缩的表面活性剂由IonPac NG 1柱淋洗到OmniPac PAX-500柱体上。在本实验中用氢氧化钠和乙腈为淋洗液，用化学抑制模式的电导检测器进行检测。

关键词： 刻蚀酸 氟化物 表面活性剂 化学抑制模式 电导检测

作者: 谢衍生

作者单位: 上海申美商品检测有限公司,上海,201108

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届离子色谱学术报告会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2010-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）