磁增强等离子体化学气相沉积法Roll-to-Roll制备SiOx高阻隔薄膜

摘要：

本文介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积方法在连续（Roll-to-Roll）系统中于有机薄膜PET表面沉积纳米SiOx高阻隔薄膜的工艺。实验研究了放电功率和镀膜速度对所沉积薄膜的阻隔性能的影响，并通过红外光谱分析薄膜的结构成分、原子力显微镜（AFM）表征表面形貌。在最佳放电参数下，得到PET表面镀SiOx薄膜的氧气透过率（OTR）值最小，为0.725cc/m2-day（原膜为130cc/m2-day）。

关键词： 磁增强等离子体 化学气相沉积 氧化硅 高阻隔薄膜 阻隔性能 包装材料

作者: 张受业 王正铎 陈强 刘忠伟 刘福平

作者单位: 北京印刷学院等离子体物理与材料实验室,北京 102600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国包装工程学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 315-319

在线出版日期: 2010-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）