微电子封装设备XY平台的结构设计

摘要：

本文设计了引线框架键合机的并联机构的XY工作台，分析了工作台的结构原理，使用COSMOSWorks软件对工作台进行了结构建模、静态特性分析和模态特性分析，确保设计结构可以满足工作台的送片功能要求。

关键词： 微电子封装设备 XY工作台 结构设计 COSMOSWorks软件 静态特性 模态分析

作者: 张莉 欧阳祥波 印波

作者单位: 广东工业大学机电工程学院,广州中国 510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国包装工程学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 531-535

在线出版日期: 2010-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）