光学表面亚表层损伤检测和损伤规律研究
光学零件加工过程中引入的亚表层损伤会直接影响到光学零件的使用寿命、长期稳定性、成像质量等重要性能指标。因此研究适用于光学表面亚表层损伤的检测技术是当今光学工程领域研究的一个热点问题。本文基于激光散射和共聚焦成像原理的非破坏性检测方法对研磨后的零件表面进行亚表层损伤检测，获得零件表面粗糙度和亚表层三维立体图。通过对实验结果的讨论，分析了磨粒直径大小对表面粗糙度和亚表层损伤深度的影响，验证了光学材料研磨后亚表层损伤深度和表面粗糙度呈单调递增的非线性关系。
亚表层损伤 表面粗糙度 激光散射 共聚焦成像
党娟娟 田爱玲 王春慧 王红军 刘丙才
西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032
国内会议
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2010-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）