一种基于临近点集数据融合的AFM动态成像方法
原子力显微镜(AFM)是纳米技术和纳米操作领域中最重要的研究工具之一。本文针对扫描成像的原子力显微镜，提出了一种改进的AFM动态成像方法，该方法分析了AFM系统中样品与针尖之间的非线性力对成像精度的影响，通过对扫描过程中获得的成像数据进行融合滤波，有效地提高了快速AFM的成像精度。具体而言，论文首先分析了原子力显微镜当前成像方法存在的主要问题，然后针对在高速扫描或者样品形貌高度有突变时，因AFM系统中非线性因素而引起的成像误差，提出了一种基于临近点集数据融合的改进动态成像方法，以提高AFM对于样品表面形貌的成像精度。最后利用原子力显微镜仿真平台数据，验证了本文提出的改进成像方法的性能。
原子力显微镜 改进动态成像 临近点集 数据融合 滤波技术
董晓坤 方勇纯 张玉东
南开大学信息学院机器人所,天津300071
国内会议
北京
中文
2957-2961
2010-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）