硅基微纳光波导损耗特性的表征技术
微纳光波导的基本功能是实现光波的低损耗传输,是芯片光互连的基础,其传输损耗是评价微纳光波导加工质量和传输性能的基本指标。微纳光波导由于其尺寸比常规光波导小1～2个数量级,光耦合的难度和不确定性都很大,造成传输损耗的测量相对困难。探讨了可用于微纳光波导传输损耗测试表征的几种方法,包括截断法、法布里珀罗(Fabry-Pérot,F-P)腔谐振谱条纹对比度分析法、傅里叶(Fourier)变换法等,对上述方法在测试精度、适用条件方面进行了分析对比。研究表明,截断法受光纤耦合不确定性的影响测量误差较大;F P腔谐振谱条纹对比度分析法能够消除光纤耦合不确定带来的误差,但是只能测量单一F-P谐振腔的波导结构,无法测量复杂的多腔结构;傅里叶变换法能够消除波导和光纤耦合状态的不固定带来的误差,并通过相邻峰位的比值来提取出波导的传输损耗。
微纳光波导 传输损耗 表征技术
陈少武 徐学俊 屠晓光
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京 100083
国内会议
青岛
中文
134-138
2009-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）