利用MEMS技术设计微型毛细泵吸环路
近年来在微流体应用当中，由于微机电系统制程上的精进，利用缩小微流道尺寸，使流体藉由毛细力来带动整个系统循环，达到被动式运作的目的。在这些采用自然力的被动式微流体系统中，探讨其液气接口或液固接口间表现的行为是主要的重点。本研究主要针对微型毛细泵吸环路(Micro-CPL)之蒸发区做肋骨微流道设计，此蒸发区同时可应用于微型甲醇燃料电池（Micro-DMFC）之反应区当中。上述两个系统要能正常运作，流体必须先克服阶梯障碍，使流体能顺利带进蒸发区。之后当液体受热产生蒸气时，蒸发区产生之背压回推液体，期望藉由前端肋骨结构密集排列设计，利用毛细力或渐缩渐扩(Nozzle-Diffuser)效应阻挡其回推。最后蒸气产生处留一空间(Chamber)，使其能往蒸气流道方向带出。本实验设计一大小为6mm×5mm之蒸发区结构，针对前端不同深度所产生的深宽比(Aspect Ratio)差异，对其液体流进蒸发区速度，抵抗气体回冲能力，以及布满蒸发区时间做比较分析。
毛细泵吸环路 微流体系统 肋骨微流道 毛细力
张立楷 王士文 林唯耕
清华大学工程与系统科学系,新竹
国内会议
贵阳
中文
311-317
2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）